SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪

产品型号:SuperView W1-Pro

产品名称:光学3D表面轮廓仪

  • 影像系统:1024×1024
  • 干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
  • XY位移平台:尺寸300×300mm,行程200×200mm,电动
  • Z轴行程:100mm,电动
  • Z向扫描范围:10mm
  • Z向分辨率:0.1nm
  • 可测样品反射率:0.05%-100%
  • 水平调整:±5°手动
  • 粗糙度RMS重复性:0.005nm
  • 台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
  • 主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
  • 生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
  • 注释:更多详细产品信息,请自行下载解决方案查阅或者联系我们获取

 

详细信息

一、产品简介

  SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

  SuperView W1-Pro光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

二、产品功能

  1. 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。
  2.  测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
  3.  测量中提供拼接测量功能。
  4.  分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。
  5.  分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
  6.  分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

 

三、应用领域

  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

 

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差

超精密加工.光学透镜

精密加工.发动机叶片

精密加工.金字塔型金刚石磁头

标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度

 

四、应用案例:

 

复合材料测量

西华大学水机叶片磨损检测

清华大学超光滑陶瓷样件测量

北航超疏水表面形貌检测

 

五、样品测试报告:

  点击表格内图片或文字可查看详细报告数据

 

 

 光学玻璃镜片样品测试报告

金属片表面摩擦磨损样品测试报告

石英砂样品测试报告

手机配件样品测试报告

超光滑凹面样品测试报告

薄膜粗糙度测试报告

微光学器件样品测试报告

微纳结构样品测试报告

微透镜阵列样品测试报告

 

 

 

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

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