通过激光跟踪仪的精确测量,可以全面评估机器人定位算法的性能,发现潜在问题,并为性能优化提供可靠依据,最终提升机器人的服务水平,推动服务机器人产业的健康发展。
PO系列机床测头应用案例
AI影像测量技术运用先进的机器视觉和深度学习算法,可快速、准确地自动识别出目标特征,使得测量过程完全实现智能化、无人化。
WD4000无图晶圆几何量测系统已广泛应用于衬底制造、外延制造、晶圆制造、晶圆减薄设备、晶圆抛光设备、及封装减薄工艺段的量测;覆盖半导体前道、中道、后道整条工艺线。