SuperView WX 100白光干涉测头

  • 产品型号:SuperView WX 100
  • 产品名称:白光干涉测头
  • 光源:白光LED
  • 干涉物镜:10×,(  20×,50×
  • 标准视场0.98×0.98mm
  • 外形尺寸:230*200*380mm
  • 水平调整±2°电动
  • Z向行程:30mm
  • Z向扫描范围:10mm(视具体镜头而定)
  • Z向分辨率:0.1nm
  • 主要特点:便携可搭载 一键批量分析
  • 生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
  • 注释:更多详细产品信息,请自行下载解决方案查阅或者联系我们获取

详细信息

一、产品简介

  SuperView WX 100白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头,其基于白光干涉和精密扫描研制而成,主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成,具有体积小、重量轻、便携的特点,能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上,在产线上对器件表面进行自动化形式的测量,直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。

图1.WX-100白光干涉测头

二、产品功能

1、测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像;

2、分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据;

3、编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程;

4、批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析;

三、应用领域

  对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、金属壳模具瑕疵、玻璃屏高度差

四、性能特色

1、便携可搭载 独特悬臂式结构,可方便地搭载在各类龙门架构水平位移平台上,通过软件接口的连接,即可构成一台可自动测量的超高级精度的光学3D表面轮廓仪;

2、复合型扫描算法 结合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范围的双重优点的扩展型相移扫描重建算法,能够适配 从超光滑到粗糙、光滑弧面等所有类型样品,一键扫描,无须切换算法;

3、防撞保护功能 Z向防撞传感器,当镜头碰到样件表面,进入紧急停止状态,不再下移;  

 

 

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

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