SuperView WX 100白光干涉测头

2020-10-19

一、产品简介

  SuperView WX 100白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头,其基于白光干涉和精密扫描研制而成,主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成,具有体积小、重量轻、便携的特点,能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上,在产线上对器件表面进行自动化形式的测量,直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。

图1.WX-100白光干涉测头

二、产品功能

1、测量功能:能够实现样件表面的高精密Z向扫描,获取3D图像;

2、分析功能:能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据;

3、编程功能:支持预配置数据处理和分析工具步骤,一键完成测量到分析全过程;

4、批量分析:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数数据实现一键批量分析;

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